Bauteile und Ersatzteile für die Ionenimplantation

Die Ionenimplantation ist ein wichtiger Prozess in der Halbleiter-Herstellung. Implanteranlagen dotieren Wafer mit Fremdatomen, um Materialeigenschaften wie Leitfähigkeit oder Kristallstruktur zu verändern. Der Strahlengang ist das Zentrum einer Implanteranlage. Hier werden die Ionen erzeugt, konzentriert, enorm beschleunigt und mit sehr hohen Geschwindigkeiten auf den Wafer gelenkt.

Damit dieser Vorgang möglichst effizient, präzise und frei von Verunreinigung erfolgt, dafür sorgen unsere Bau- und Ersatzteile aus hochschmelzenden Metallen.

Ihre Vorteile auf einen Blick:

Über 30 Jahre Erfahrung in der Halbleiterindustrie
Produktion exakt nach Herstellernorm
Höchste Produktqualität

Ideale Produkteigenschaften

Temperaturen bis zu 1.400 °C, starke elektromagnetische Felder, aggressive Prozessgase und starke mechanische Kräfte machen herkömmlichen Werkstoffen zu schaffen. Nicht so unseren Produkten. Unsere hitzebeständigen Bauteile aus Molybdän, Wolfram, Graphit oder Keramiken überzeugen durch eine ideale Kombination aus Korrosionsbeständigkeit, Materialfestigkeit, guter Wärmeleitfähigkeit und absoluter Reinheit. Pro Strahlengang sind 100 oder mehr Plansee-Komponenten im Einsatz. Sie stellen sicher, dass die Ionen effizient erzeugt und im Strahlengang präzise und frei von Verunreinigungen zum Wafer gelenkt werden.

Auf den Tausendstel Millimeter genau und mit mehr als 30 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie produzieren wir an unseren Produktionsstandorten in Japan und den USA exakt nach Herstellernorm oder entwickeln die Komponenten weiter. Denn Plansee-Ersatzteile sind für unsere Kunden immer öfter weit mehr als Ersatz. Ausgehend von den Original-Ersatzteilen der Anlagenhersteller optimieren wir Geometrien und Materialzusammensetzungen. Was Sie davon haben:

einfacherer Ein- und Ausbau der Komponenten
längere Lebensdauer
geringere Reinigungskosten
geringerer Wartungsaufwand
weniger Ausfallzeiten

Wir wissen, wie wichtig reproduzierbare Qualität für Ihren Prozess ist. Und deshalb ist unsere Qualität exzellent. Immer und immer wieder. Wie wir das machen? Wir produzieren Hochleistungswerkstoffe seit 1921 und haben vom Metallpulver bis zum fertigen Produkt den ganzen Produktionsprozess selbst in der Hand. Nur Implanterteile, die unsere strengen Qualitätskontrollen passieren, verlassen bei uns das Haus.

Unsere Produkte

Kammern (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen)
Wendeln (Wolfram und Wolfram-Legierungen)
Blenden (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen)
Halterungen (Wolfram, Molybdän und Legierungen)
Kathoden (Wolfram, Molybdän und Legierungen)
Endstation (Graphit)
Teile des Analysators (Graphit)
Isolatoren (Keramiken)
Ersatzteile (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen, Keramiken, Stahl)

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Ersatzteilspezialist für mehr als 100 Anlagen

Ob älteres Modell oder neueste Generation, medium oder high current: Wir kennen sie alle und haben natürlich die passenden Ersatzteile für Sie im Programm. Auch Sie wollen mehr aus Ihrem Ionenimplanter herausholen? Sprechen Sie mit uns. Gerne auch, wenn Sie ihre Anlage noch nicht in der Liste finden.

AIBT: istar

Applied Materials: 9000, 9200, 9200xR, 9500, 9500xR, Quantum, Quantum I, Quantum II, Quantum III, Quantum X, Quantum X+, Quantum xR, xR, xR/Leap, xR120, xR200, xR80

Varian Semiconductor Equipment (now Applied Materials): VIISta Trident, PLAD, VIISta HCS, VIISta HCP +/I, VIISta 80, E1000, VIISion 200, VIISion 200+, VIISion 80+, VIISta HC, 120-10, 120XP, 160XP, 180XP, 80XP, VIISta 3000, Genus, Kestrel, VIISta 810 XE/XER, VIISta 900 XPT, VIISion, E220, E500, VIISta 810, VIISta 810 XE, VIISta 900, VIISta 900XP, 300D, 300XP, 350D

Axcelis: GSD HC (200/200E/200E2), HC3, Ultra, Eterna, GSD 100, GSD 160A, GSD 200E, GSD 200E^2, GSD HC, GSD HC3, GSD III, GSD III LE, GSD LED, NV GSD, NV 10-160, NV 10-180, NV 10-80, Optima HD, ULE, Ultra, GSD HE, GSD VHE, GSD HE, GSD HE3, GSD VHE, Optima XE, Paradigm XE, NV 3206/3204, NV 6200, NV 8200, NV 8250, Optima MD

Nissin: NH80, PR80, Exceed 3000, CLARIS, EXCEED2000A/2000AH, EXCEED2300AV, EXCEED3000AH, EXCEED9600A, NH20, NH45

SEN: NV-GSD-160A, NV-GSD-80A, NV-GSDIII, NV-GSDIII-180, SD, NV-GSDIII-90E, NV-GSDIII-LE, NV-GSDIII-LE, V-GSD-HC, LEX, LEX3, SHX, NV-GSD-HE, NV-GSD-HE3, MC3MC3-II, NV-MC3

Ulvac: IH-860, IDZ-7000, IDZ-8001, IDZ-9001, IM-200, IW-630

Testen Sie unseren Online-Produktkatalog. Dort finden Sie viele unserer Implanter-Ersatzteile in OEM-Qualität, aber auch Bauteile im Plansee-Design für eine verbesserte Standzeit und einfacheres Handling. Für bestehende Kunden bietet unser Produktkatalog weitere Features: Rufen Sie Ihre Bestellungen, den Lieferstatus und Rechnungen ab.

Kontaktieren Sie uns unter ionimplantation(at)plansee.com für Ihren persönlichen Login.

Zum Produktkatalog für Ionenimplanterteile

Kosten sparen mit Plansee

Wo immer wir Potenzial sehen, die Standards zu verbessern und dem Kunden Zeit und Kosten zu ersparen, bieten wir Advanced-Standard-Lösungen an. Ausgehend von den Original-Ersatzteilen der Anlagenhersteller optimieren wir Geometrien und Materialzusammensetzungen. Sie wollen uns testen? Gerne. Sie bekommen verbesserte Ersatzteile zum Probieren zu einem sehr günstigen Preis. Damit Sie auch wirklich sicher sind.

Die MRS Vane filtert im IIP-Prozess die Ionen aus, die nicht die richtige Ladung oder Masse haben. Nur die Ionen, die den Massenauflösungsschlitz passieren, werden weiter in Richtung Wafer geführt. Die MRS Vane ist durch den Aufprall des Ionenstrahls Abrasion ausgesetzt. Ein Winkel an der Seitenfacette minimiert diese Abnutzung. Im IIP-Prozess treten jedoch auch chemische Reaktionen und Verschleiß auf, die umso größer sind, je spitzer die Winkel der betroffenen Oberflächen sind. Als Kompromiss werden im OEM-Normteil Winkel von 92° verwendet.

Verbessertes Design für eine längere Lebensdauer

Doch mit Kompromissen wollen wir uns nicht zufriedengeben und haben das Originalteil noch verbessert: Wir führen den Bereich, auf den der Ionenstrahl mit besonders starker Kraft auftrifft, in einem fast rechten Winkel aus. Die Randbereiche wiederum - die vor allem von chemischen und thermischen Reaktionen betroffen sind - produzieren wir mit flachen Winkeln.

Material ist nicht gleich Material

Damit unsere Kunden das perfekte Produkt bekommen, lassen wir natürlich auch Material nicht Material sein. Herkömmliches Graphit ist sehr grobkörnig und kann zu starker Partikelbildung im Prozess führen. Gerade bei Herstellern elektrischer Bauteile mit besonders kleinen Strukturen führen solche Verunreinigungen zu großen Problemen. Wir bieten unseren Kunden ein besonders hartes und festes Graphit an. Es ist deutlich weniger anfällig für Abrieb und verringert somit die Partikelbildung im Prozess. Und die Verbesserungen von Plansee machen sich für unsere Kunden bezahlt. Advanced Standard MRS-Vanes sind bis zu dreimal länger im Einsatz als herkömmliche OEM-Modelle.

Sie haben Interesse? Wir sind da!

Jede Idee ist nur so gut wie ihre Umsetzung. Lassen Sie uns Ihre Herausforderung wissen. Unsere IIP-Spezialisten sind weltweit für Sie im Einsatz. Wir werden direkt vor Ort gebraucht? Kein Problem. Innerhalb von 48 Stunden sind wir da. Garantiert!