Die Heizelemente in einer MOCVD-Anlage werden auf 2.000 °C erhitzt. Die hohen Temperaturen machen unsere Hochleistungswerkstoffe Molybdän und Wolfram für verschiedene Abschirmungen, Gaskollektoren und Heizelemente unverzichtbar. Plansee liefert für MOCVD insgesamt über 50 verschiedene Komponenten. Wir sind anerkannter Erstausrüster von MOCVD-Anlagen, aber auch am Ersatzteilmarkt tätig. Und mit unseren verbesserten, technischen Designs und patentierten Beschichtungen sind wir für unsere Kunden weit mehr als nur Ersatz.
Kundenspezifische Designs für eine homogene Temperaturverteilung
Die Halbleiterschichten in einer LED sollen Licht mit möglichst gleicher Wellenlänge aussenden. Eine wichtige Voraussetzung ist eine homogene Temperaturverteilung in der MOCVD-Anlage. Jede Abweichung im Temperaturprofil führt später zu einer Änderung der Farbe des emittierten Lichts. In aufwendigen Berechnungen simulieren unsere Techniker mithilfe der Finite-Elemente-Methode (FEM) den MOCVD-Prozess der jeweiligen Anlage und verbessern das Design unserer Heizkomponenten. Die neuen Komponenten erhöhen die Temperaturhomogenität im Reaktorraum. Der Kunde profitiert von einer höheren Ausbeute pro Beschichtungszyklus und damit von einer höheren Produktivität.
Zusammen mit unseren Kunden entwickeln wir vor allem individuelle Designs für Heizelemente aber auch von anderen Komponenten des MOCVD Reaktors.
