Um den Wärmeverlust ihres Ofens während des Prozesses so gering als möglich zu halten, konstruieren wir Abschirmungen aus einer optimierten Anzahl von W, ML und Mo Blechlagen. Entscheidend hierfür ist der Wärmestrahlungsaustauch zwischen den Blechlagen sowie die extrem niedrige Emissivität von Molybdän. Weiterhin verfügen unsere Abschirmungen aus Molybdän, Wolfram und deren Legierungen über eine geringe spezifische Wärmekapazität und ermöglichen schnelle Aufheiz- und Kühlraten bei niedrigen Evakuierzeiten, einer hohen Prozessreinheit (graphitfreie Abschirmung) und kurzen Prozesszykluszeiten. Damit sind sie bestens geeignet für den Einsatz im Hochvakuum als auch im Ultra-Hochvakuumbereich. Mit neuen, maßgeschneiderten Designs ermöglichen wir gewichts- und energiekostenoptimierte Abschirmungen für Ihre Anwendung.